Вакуумное напыление в процессе производства опытных тонкопленочных транзисторов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Тикл, А. К. |
| Опубликовано: | М. : Центр. науч.-исслед. ин-т технико-экон. исслед. и научной информации , 1966 |
| Физические характеристики: |
9 с. : илл.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Переводы иностранной лит. Серия полупроводниковые приборы и микроэлектроника
Пер. № 57/ЭТ-1378 |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||