|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr31722860000 |
| 005 |
20070704190004.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20070704d1985 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование, разработка структурных и алгоритмических моделей автоматизированного проектирования линий, комплектов оборудования полупроводникового и микроэлектронного производства
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук
$e (05.13.01 ; 05.13.12)
$f Моск. ин-т электрон. машиностроения
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1985
|
| 215 |
# |
# |
$a 41 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 37-41 (33 назв.). Для служеб. пользования
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.13.01
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.13.12
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Сысоев
$b В. В.
$g Валерий Васильевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070704
$g psbo
|
