Разработка затворных композиций МДП СБИС на основе SiO₂ и Si₃N₄: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Воронеж. гос. ун-т им. Ленинского комсомола
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сухоруков, Н. И. |
| Опубликовано: | Воронеж , 1992 |
| Физические характеристики: |
27 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr31690830000 | ||
| 005 | 20070629171149.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070629d1992 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка затворных композиций МДП СБИС на основе SiO₂ и Si₃N₄ $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.01) $f Воронеж. гос. ун-т им. Ленинского комсомола |
| 210 | # | # | $a Воронеж $d 1992 |
| 215 | # | # | $a 27 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 24-27 (40 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Сухоруков $b Н. И. $g Николай Иванович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070629 $g psbo |