Дефектообразование и проникновение примеси при низкоэнергетичном ионном легировании кремния: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.10) / АН СССР, Ин-т физики полупроводников
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Степина, Н. П. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 1989 |
| Физические характеристики: |
14 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||