Толстопленочные чувствительные элементы микроэлектронных датчиков: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.13.05) / Науч.-произв. комплекс "Ульян. центр микроэлектроники и автоматизации в машиностроении"
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Соколовский, В. Р. |
Опубликовано: | Ульяновск , 1992 |
Физические характеристики: |
22 с.
|
Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|