Теоретическое и экспериментальное изучение процессов легирования полупроводниковых пленок примесями в газотранспортном методе выращивания: (046): Автореф. дисс. на соискание учен. степени канд. физ.-мат. наук / АМ СССР. Сиб. отд-ние. Совет общей и прикл. физики Объедин. учен. совета по физ.-мат. и техн. наукам
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сидорова, А. В. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 1971 |
| Физические характеристики: |
15 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr30621160000 | ||
| 005 | 20070615122648.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [71-8764а] |
| 100 | # | # | $a 20070615d1971 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Теоретическое и экспериментальное изучение процессов легирования полупроводниковых пленок примесями в газотранспортном методе выращивания $e (046) $e Автореф. дисс. на соискание учен. степени канд. физ.-мат. наук $f АМ СССР. Сиб. отд-ние. Совет общей и прикл. физики Объедин. учен. совета по физ.-мат. и техн. наукам |
| 210 | # | # | $a Новосибирск $d 1971 |
| 215 | # | # | $a 15 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 14-15 |
| 686 | # | # | $a 046 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Сидорова $b А. В. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070615 $g psbo |