Статистическое исследование технологического процесса полупроводникового производства с целью улучшения его технико-зкономических показателей: Автореф. дисс. на соискание учен. степени канд. техн. наук: (298) / Моск. ин-т стали и сплавов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сидоров, В. Г. |
| Опубликовано: | Брянск Москва , 1970 |
| Физические характеристики: |
27 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr30612260000 | ||
| 005 | 20070615122437.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070615d1970 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Статистическое исследование технологического процесса полупроводникового производства с целью улучшения его технико-зкономических показателей $e Автореф. дисс. на соискание учен. степени канд. техн. наук $e (298) $f Моск. ин-т стали и сплавов |
| 210 | # | # | $a Брянск $a Москва $d 1970 |
| 215 | # | # | $a 27 с. |
| 686 | # | # | $a 298 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Сидоров $b В. Г. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070615 $g psbo |