|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr30573890000 |
| 005 |
20070615121407.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20070615d1983 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Процессы диффузии, окисления и обработки подложки кремния, активируемые внешним электрическим полем
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук
$e (05.12.18)
$f Моск. ин-т электрон. техники
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1983
|
| 215 |
# |
# |
$a 49 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 41-48 (75 назв.). Для служеб. пользования
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.12.18
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Сеченов
$b Д. А.
$g Дмитрий Акимович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070615
$g psbo
|
