Разработка эффективных способов получения и физико-химические исследования тонких пленок оксида алюминия и элементоорганических диэлектриков с целью использования их в микроэлектронике: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Науч.-произв. об-ние "Фонон"
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сенатова, Н. А. |
| Опубликовано: | М. , 1985 |
| Физические характеристики: |
27 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr30463670000 | ||
| 005 | 20070615125955.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070615d1985 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка эффективных способов получения и физико-химические исследования тонких пленок оксида алюминия и элементоорганических диэлектриков с целью использования их в микроэлектронике $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.01) $f Науч.-произв. об-ние "Фонон" |
| 210 | # | # | $a М. $d 1985 |
| 215 | # | # | $a 27 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 26-27 (16 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Сенатова $b Н. А. $g Наталия Алексеевна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070615 $g psbo |