Исследование и разработка комплекса алгоритмов и программ геометрического и схемо-топологического контроля фрагментов МДП БИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.13.12)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ромм, Г. Р. |
| Опубликовано: | Л. , 1981 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr29619710000 | ||
| 005 | 20070608153351.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070608d1981 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование и разработка комплекса алгоритмов и программ геометрического и схемо-топологического контроля фрагментов МДП БИС $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.13.12) |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1981 |
| 215 | # | # | $a 17 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Ленингр. ин-т точ. механики и оптики. Библиогр.: с. 15-17 (14 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.13.12 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Ромм $b Г. Р. $g Генрих Робертович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070608 $g psbo |