Разработка, внедрение и исследование подсистемы автоматизированного управления легированием на участке выращивания монокристаллов кремния по методу вытягивания из расплава: (05.13.07): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук / Моск. ин-т стали и сплавов
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Розеиталь, Г. О. |
| Publicado: | М. , 1989 |
| Descripción Física: |
24 с.
|
| Lenguaje: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||