Разработка, внедрение и исследование подсистемы автоматизированного управления легированием на участке выращивания монокристаллов кремния по методу вытягивания из расплава: (05.13.07): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук / Моск. ин-т стали и сплавов
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Розеиталь, Г. О. |
| Published: | М. , 1989 |
| Physical Description: |
24 с.
|
| Language: | Russian |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||