Ионная имплантация / Перевод с нем. В. В. Климова, В. Н. Пальянова; Под ред. М. И. Гусевой
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Риссел, Х. |
| Опубликовано: | М. : Наука , 1983 |
| Физические характеристики: |
360 с. : ил. ; 22 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
| 00000nam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr29434810000 | ||
| 005 | 20070606150951.0 | ||
| 010 | # | # | $b В пер. $d 4 р. 50 к. |
| 021 | # | # | $a RU $b [84-7241] |
| 100 | # | # | $a 20070606d1983 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Ионная имплантация $f Перевод с нем. В. В. Климова, В. Н. Пальянова; Под ред. М. И. Гусевой |
| 210 | # | # | $a М. $c Наука $d 1983 |
| 215 | # | # | $a 360 с. $c ил. $d 22 см |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 345-360 |
| 345 | # | # | $9 2250 экз. |
| 610 | 0 | # | $a Полупроводники - Легирование ионное |
| 675 | # | # | $a 539.2:539.1.04 |
| 700 | # | 1 | $a Риссел $b Х. |
| 701 | # | 1 | $a Руге $b И. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070606 $g psbo |