Научные основы проектирования и эксплуатации межоперационных транспортных средств и чистых технологических объемов для производства изделий микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (05.27.01) / Моск. ин-т электрон. техники
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Редин, В. М. |
| Апублікавана: | М. , 1992 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
41 с.
|
| Мова: | Руская |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||