
Об интерферометрическом измерении толщины прозрачной пленки. нанесенной на прозрачную подложку / Ин-т точной механики и вычислит. техники АН СССР
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Распутин, С. А. |
Опубликовано: | М. , 1967 |
Физические характеристики: |
14 с. : черт.
|
Язык: | Русский |
00000nam0a22000001ib4500 | |||
001 | BY-NLB-rr29239850000 | ||
005 | 20070605172142.0 | ||
021 | # | # | $a RU $b [67-74848] |
100 | # | # | $a 20070605d1967 y0rusy50 ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
200 | 1 | # | $a Об интерферометрическом измерении толщины прозрачной пленки. нанесенной на прозрачную подложку $f Ин-т точной механики и вычислит. техники АН СССР |
210 | # | # | $a М. $d 1967 |
215 | # | # | $a 14 с. $c черт. |
675 | # | # | $a 539.216.2 |
700 | # | 1 | $a Распутин $b С. А. |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070605 $g psbo |