|
|
|
|
|
00000nam2a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr29005580002 |
| 005 |
20070530130753.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 30 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [75-36791]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070530d1975 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 200 |
0 |
# |
$a Управление процессами изготовления интегральных схем
|
| 210 |
# |
# |
$c [МАИ]
$d 1975
|
| 215 |
# |
# |
$a 118 с.
$c черт.
|
| 300 |
# |
# |
$a Список лит.: с. 116-117 (52 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 1750 экз.
|
| 461 |
# |
0 |
$1 001BY-NLB-rr29005580000
$1 2000
$v Ч. 2
|
| 610 |
0 |
# |
$a Автоматика
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Автоматизация (ч. 2)
|
| 675 |
# |
# |
$a 62**+621.382.049.77.002:65.011.56](075.8)
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070530
$g psbo
|
| 830 |
# |
# |
$a АН886360;АУ506839;
|
