Высокоразрешающие процессы образования изображения в микролитографии: (05.27.01): Дис. в форме науч. докл. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук / АН Украины, Ин-т кибернетики им. В. М. Глушкова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Прохоцкий, Ю. М. |
| Опубликовано: | Киев , 1991 |
| Физические характеристики: |
32, [1] с. : граф.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||