Высокоразрешающие процессы образования изображения в микролитографии: (05.27.01): Дис. в форме науч. докл. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук / АН Украины, Ин-т кибернетики им. В. М. Глушкова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Прохоцкий, Ю. М. |
| Опубликовано: | Киев , 1991 |
| Физические характеристики: |
32, [1] с. : граф.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr28962480000 | ||
| 005 | 20070530125241.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [92-71а] |
| 100 | # | # | $a 20070530d1991 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UA |
| 200 | 1 | # | $a Высокоразрешающие процессы образования изображения в микролитографии $e (05.27.01) $e Дис. в форме науч. докл. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук $f АН Украины, Ин-т кибернетики им. В. М. Глушкова |
| 210 | # | # | $a Киев $d 1991 |
| 215 | # | # | $a 32, [1] с. $c граф. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 31-33 (27 назв.) |
| 686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Прохоцкий $b Ю. М. $g Юрий Михайлович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070530 $g psbo |