|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr28677100000 |
| 005 |
20210202085803.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 45 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [85-59184]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070529d1985 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Расчет и проектирование устройств электронной и ионной литографии
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Радио и связь
$d 1985
|
| 215 |
# |
# |
$a 127 с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Б-ка технолога радиоэлектрон. аппаратуры
|
| 300 |
# |
# |
$a На обл. загл. сер.: Б-ка технолога РЭА. Библиогр.: с. 124-126 (69 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 4800 экз.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar13927578
$a ИОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2790887
$a ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77:776.002.5.001.24
|
| 700 |
# |
1 |
$a Попов
$b В. К.
$g Виктор Кузьмич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Ячменев
$b С. Н.
$g Станислав Николаевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070529
$g psbo
|
