Система автоматизированного измерения толщины тонких пленок: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.11.13) / Ленингр. технол. ин-т им. Ленсовета
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Попов, В. В. |
| Опубликовано: | Л. , 1989 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr28676500000 | ||
| 005 | 20070529154347.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070529d1989 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Система автоматизированного измерения толщины тонких пленок $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.11.13) $f Ленингр. технол. ин-т им. Ленсовета |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1989 |
| 215 | # | # | $a 17 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 17 (9 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.11.13 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Попов $b В. В. $g Виктор Васильевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070529 $g psbo |