Химия и материалы в микроэлектронике : Учеб. пособие / Моск. ин-т электрон. техники. Ч. 2
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | 1989 |
| Физические характеристики: |
98 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
| 00000cam2a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr28159350002 | ||
| 005 | 20210223095403.0 | ||
| 010 | # | # | $d 30 к. |
| 021 | # | # | $a RU $b [89-61568] |
| 100 | # | # | $a 20070525d1989 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 200 | 0 | # | $a Ч. 2 |
| 210 | # | # | $d 1989 |
| 215 | # | # | $a 98 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 96 (10 назв.) |
| 345 | # | # | $9 500 экз. |
| 461 | # | 0 | $1 001BY-NLB-rr28159350000 $1 2000 $v Ч. 2 |
| 610 | 0 | # | $a Микроэлектроника - Физико-химические основы |
| 675 | # | # | $a 621.382.049.77.002.3:54(075.8) |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070525 $g psbo |