|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr28159320000 |
| 005 |
20201014134425.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 24 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [88-29527]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070525d1988 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Химические процессы и конструкционные материалы в микроэлектронике
$e Учеб. пособие
$f В. З. Петрова, Н. А. Ханова, В. И. Гребенькова
$g Моск. ин-т электрон. техники
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1988
|
| 215 |
# |
# |
$a 79 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 77 (13 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 1000 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы, интегральные - Производство - Учебники
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002(075.8)
|
| 700 |
# |
1 |
$a Петрова
$b В. З.
$g Валентина Захаровна
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070525
$g psbo
|
