Исследование и разработка методов устранения структурных дефектов в полуфабрикатах кремниевых интегральных схем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (05.12.18)
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Пекарев, А. И. |
| Wydane: | М. , 1984 |
| Opis fizyczny: |
40 с.
|
| Język: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||