Исследование и разработка методов устранения структурных дефектов в полуфабрикатах кремниевых интегральных схем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (05.12.18)
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Пекарев, А. И. |
| Апублікавана: | М. , 1984 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
40 с.
|
| Мова: | Руская |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||