|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr27844980000 |
| 005 |
20071221113521.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 50 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [82-48798]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071221d1982 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников
$f [Б. Д. Луфт, В. А. Перевощиков, Л. Н. Возмилова и др.]
$g Под ред. Б. Д. Луфт
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Радио и связь
$d 1982
|
| 215 |
# |
# |
$a 137 с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Авт. указаны на обороте тит. л. Библиогр.: с. 129-135 (137 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 4500 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводники - Обработка
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002
|
| 701 |
# |
1 |
$a Луфт
$b Б. Д.
$g Берта Давыдовна
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071221
$g psbo
|
