
Физико-химические процессы в микроэлектронике: Сб. науч. тр. / Моск. ин-т тон. хим. технологии
Enregistré dans:
Format: | |
---|---|
Publié: | М. : МИТХТ , 1990 |
Description matérielle: |
366, [1] с., [1] л. ил. : ил. ; 22 см
|
Langue: | Русский |
Sujets: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|