Физико-химические процессы в микроэлектронике: Сб. науч. тр. / Моск. ин-т тон. хим. технологии
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Published: | М. : МИТХТ , 1990 |
| Physical Description: |
366, [1] с., [1] л. ил. : ил. ; 22 см
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||