Физико-химические процессы в микроэлектронике: Сб. науч. тр. / Моск. ин-т тон. хим. технологии
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Апублікавана: | М. : МИТХТ , 1990 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
366, [1] с., [1] л. ил. : ил. ; 22 см
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||