Установки ионной имплантации: (Обзор патентной информации) / В. П. Голубев, И. А. Кузьмина, С. А. Никифоров
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва , 1989 |
| Физические характеристики: |
40 с.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзор
ОД-88 |
| Предмет: |
| 00000cam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr27746560000 | ||
| 005 | 20210211141731.0 | ||
| 010 | # | # | $d 38 к. |
| 021 | # | # | $a RU $b [89-82287] |
| 100 | # | # | $a 20071221d1989 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Установки ионной имплантации $e (Обзор патентной информации) $f В. П. Голубев, И. А. Кузьмина, С. А. Никифоров |
| 210 | # | # | $a Москва $d 1989 |
| 215 | # | # | $a 40 с. |
| 225 | 2 | # | $a Обзор $f ЦНИИ информации и технико-экономических исследований по атомной науке и технике $v ОД-88 |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 34-40 (118 назв.) |
| 345 | # | # | $9 120 экз. |
| 610 | 0 | # | $a Ионное легирование |
| 675 | # | # | $a 621.382.049.77.002.5 |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20071221 $g psbo |