|
|
|
|
|
00000cam2a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr27382740002 |
| 005 |
20200925122329.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 5-06-001080-5
$d 20 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [90-46407]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071221d1990 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 200 |
1 |
# |
$a Литографические процессы
$f [В. В. Мартынов, Т. Е. Базарова]
|
| 210 |
# |
# |
$d 1990
|
| 215 |
# |
# |
$a 126, [2] с.
$c ил.
|
| 345 |
# |
# |
$9 21000 экз.
|
| 461 |
# |
0 |
$1 001BY-NLB-rr27382740000
$1 2001
$v Кн. 8
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микролитография - Учебники и пособия - (кн. 8)
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводниковые приборы - Производство - Учебники и пособия
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронная аппаратура - Производство - Учебники и пособия
|
| 675 |
# |
# |
$a [621.382.002+621.382.049.77.002](075.32)
|
| 686 |
# |
# |
$a 32.852-06я722+32.844.1-06я722
$2 rubbk
|
| 701 |
# |
1 |
$a Мартынов
$b В. В.
$g Валерий Владимирович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071221
$g psbo
|
