Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники : [Учеб. пособие для ПТУ : В 10 кн.]. Кн. 5 : Термические процессы / [С. Н. Никифорова-Денисова, Е. Н. Любушкин]

Сохранено в:
Шифр документа: 340349, 349004,
Вид документа: Книги
Опубликовано: 1989
Физические характеристики: 95, [1] с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam2a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr27382710002
005 20210121114310.0
010 # # $a 5-06-000307-8  $d 15 к. 
021 # # $a RU  $b [90-2473] 
100 # # $a 20071221d1989 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
200 1 # $a Термические процессы  $f [С. Н. Никифорова-Денисова, Е. Н. Любушкин] 
210 # # $d 1989 
215 # # $a 95, [1] с.  $c ил. 
345 # # $9 30000 экз. 
461 # 0 $1 001BY-NLB-rr27382710000  $1 2001   $v Кн. 5 
610 0 # $a Полупроводниковые приборы - Производство - Тепловые процессы (кн. 5) 
610 0 # $a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Тепловые процессы (кн. 5) 
610 0 # $a Полупроводниковые приборы - Производство - Учебники и пособия 
610 0 # $a Микроэлектронная аппаратура - Производство - Учебники и пособия 
675 # # $a [621.382.002+621.382.049.77.002](075.32) 
686 # # $a 32.852-06я722+32.844.1-06я722  $2 rubbk 
701 # 1 $a Никифорова-Денисова  $b С. Н.  $g Светлана Николаевна 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071221  $g psbo