Теоретическое исследование процесса передачи изображения через трафаретные шаблоны пучком заряженных частиц и приложения к литографическим процессам / К. А. Валиев, А. Н. Кириллов, Т. М. Махвиладзе, М. М. Мкртчян
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | М. , 1987 |
| Физические характеристики: |
41 с., 23 с. ил.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препр. Физика твердого тела
№ 215 |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||