|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr27228060000 |
| 005 |
20180718105512.0 |
| 010 |
# |
# |
$d Б. ц.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [87-95518]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071220d1987 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Теоретическое исследование процесса передачи изображения через трафаретные шаблоны пучком заряженных частиц и приложения к литографическим процессам
$f К. А. Валиев, А. Н. Кириллов, Т. М. Махвиладзе, М. М. Мкртчян
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1987
|
| 215 |
# |
# |
$a 41 с., 23 с. ил.
|
| 225 |
2 |
# |
$a Препр. Физика твердого тела
$f Отд. микроэлектроники
$f АН СССР, Ин-т общ. физики
$v № 215
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 37-38 (16 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 100 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Изображение
|
| 610 |
0 |
# |
$a Литография
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.75:776
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071220
$g psbo
|
