Современные технологические процессы в микроэлектронике / Министерство высшего и среднего специального образования БССР, Минский радиотехнический институт, Кафедра технологии радиоэлектронной аппаратуры. Ч. 1: учебное пособие по курсу "Технология микросхем и элементов ЭВА" / [А. П. Достанко и др.]

Сохранено в:
Шифр документа: АНД973672, 1Н//347531(039),
Вид документа: Книги
Опубликовано: 1977
Физические характеристики: 37, [2] с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam2a2200000 ib4500
001 BY-NLB-rr26715060002
005 20220414180712.0
010 # # $d 9 к. 
100 # # $a 20071220d1977 f y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a|||j|||000yy 
109 # # $a ga 
200 0 # $a Ч. 1  $e учебное пособие по курсу "Технология микросхем и элементов ЭВА"  $f [А. П. Достанко и др.] 
210 # # $d 1977 
215 # # $a 37, [2] с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 35―38 (58 назв.) 
345 # # $9 150 экз. 
461 # 0 $1 001BY-NLB-br636715G39940  $1 2000   $v Ч. 1 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23657  $a ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12168  $a ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3128229  $a ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23669  $a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12174  $a ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23647  $a ПЛАЗМЕННЫЕ УСКОРИТЕЛИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18374  $a МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ  $2 DVNLB 
608 # # $3 BY-NLB-ar2286649  $a УЧЕБНОЕ ПОСОБИЕ ДЛЯ ВУЗОВ  $2 BYGNR 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3:621.793(075.8)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.33.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.33  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.01.33  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 50.13.13  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 50.01.33  $v 6  $2 rugasnti 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar2495390  $a Достанко  $b А. П.  $g Анатолий Павлович  $c доктор технических наук  $f 1937—2024 
701 # 1 $3 BY-SEK-233666  $a Зеленков  $b В. А.  $g Владимир Алексеевич  $c радиотехника 
701 # 1 $3 BY-SEK-535448  $a Ширипов  $b В. Я.  $g Владимир Яковлевич  $c кандидат технических наук 
701 # 1 $3 BY-SEK-144830  $a Пикуль  $b М. И.  $g Михаил Иванович  $f род. 1946 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071220  $g psbo