
Процессы ионно-плазменной технологии в микроэлектронике / Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина)
Guardado en:
Formato: | |
---|---|
Publicado: | Ленинград , 1989 |
Descripción Física: |
47 с.
|
Lenguaje: | Русский |
Materias: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|