Процессы ионно-плазменной технологии в микроэлектронике / Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина)
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Апублікавана: | Ленинград , 1989 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
47 с.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||