Проблемы литографии в микроэлектронике: [сборник статей] / ответственный редактор Т. М. Махвиладзе
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Наука , 1987 |
| Физические характеристики: |
149, [1] с. : ил. ; 24 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Труды Института общей физики
т. 8 |
| Предмет: |
Загрузка