|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr25222350000 |
| 005 |
20071203123014.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 44 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [73-78326]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071203d1973 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Проблемы и перспектива использования оптико-механических средств в технологии производства микросхем
$e Материалы к краткосрочному семинару 24-25 сент.
$f Ленингр. организация о-ва «Знание» РСФСР. Ленингр. дом науч.-техн. пропаганды
$g Под ред. канд. техн. наук А. Л. Харинского
|
| 210 |
# |
# |
$a Л.
$d 1973
|
| 215 |
# |
# |
$a 89 с.
$c ил.
$d 19 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Списки лит. в конце докл. На обл. загл.: Проблемы и перспективы использования оптико-механических средств в технологии производства микросхем
|
| 345 |
# |
# |
$9 400 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы, интегральные - Производство - Сборники
|
| 610 |
0 |
# |
$a Фотошаблоны для интегральных схем - Сборники
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382-181.48.049.75:774(063)
|
| 702 |
# |
1 |
$a Харинский
$b А. Л.
$g Анатолий Леонидович
$4 340
|
| 711 |
0 |
2 |
$a Ленингр. дом науч.-техн. пропаганды
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071203
$g psbo
|
