|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr23928290000 |
| 005 |
20071113142305.0 |
| 010 |
# |
# |
$b В пер.
$d 1 р. 50 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [81-79072]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071113d1981 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Оборудование полупроводникового производства
$f [П. Н. Масленников, К. А. Лаврентьев, А. Д. Гингис и др.]
$g Под ред. П. Н. Масленникова
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Радио и связь
$d 1981
|
| 215 |
# |
# |
$a 336 с.
$c ил.
$d 22 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Авт. указаны на обороте тит. Библиогр.: с 330-333 (91 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 5000 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводниковые приборы - Производство - Оборудование
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.002.5
|
| 701 |
# |
1 |
$a Масленников
$b П. Н.
$g Павел Николаевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071113
$g psbo
|
