Оборудование ионной имплантации / В. В. Симонов, Л. А. Корнилов, А. В. Шашелев, Е. В. Шокин
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | М. : Радио и связь , 1988 |
| Физические характеристики: |
182, [1] с. : ил. ; 22 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||