|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr23926540000 |
| 005 |
20191201110445.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 5-256-00007-1
$d 70 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [88-80208]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071113d1988 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Оборудование ионной имплантации
$f В. В. Симонов, Л. А. Корнилов, А. В. Шашелев, Е. В. Шокин
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Радио и связь
$d 1988
|
| 215 |
# |
# |
$a 182, [1] с.
$c ил.
$d 22 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 170-181 (69 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 3600 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Ионное легирование - Установки
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002:621.7/.9.048.7.06
|
| 701 |
# |
1 |
$a Симонов
$b В. В.
$g Владимир Валентинович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071113
$g psbo
|
