|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr23624660000 |
| 005 |
20071112164649.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 2 р. 40 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [82-23741]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071112d1982 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Нитрид кремния в электронике
$f [В. И. Белый, Л. Л. Васильева, В. А. Грищенко и др.]
$g Отв. ред. А. В. Ржанов
|
| 210 |
# |
# |
$a Новосибирск
$c Наука. Сиб. отд-ние
$d 1982
|
| 215 |
# |
# |
$a 200 с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Авт. указаны на обороте тит. л. В надзаг.: АН СССР, Сиб. отдние, Ин-т физики полупроводников, Ин-т неорган. химии. Библиогр.: с. 186-198 (285 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 1350 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Кремний, нитрид
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Материалы
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002.3:661.55
|
| 701 |
# |
1 |
$a Белый
$b В. И.
$g Вячеслав Иванович
|
| 702 |
# |
1 |
$a Ржанов
$b А. В.
$g Анатолий Васильевич
$4 340
|
| 711 |
0 |
2 |
$a Институт физики полупроводников. Новосибирск
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071112
$g psbo
|
