Методы определения примесей в AsCl₃ и исследование их поведения в системе Ga-As Cl₃-H₂
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Опубликовано: | М. , 1972 |
Физические характеристики: |
56 с.
|
Язык: | Русский |
Серия: |
Препринт
№ 100 |
00000nam0a22000001ib4500 | |||
001 | BY-NLB-rr23202440000 | ||
005 | 20071112144927.0 | ||
010 | # | # | $d Б. ц. |
100 | # | # | $a 20071112d1972 y0rusy50 ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
200 | 1 | # | $a Методы определения примесей в AsCl₃ и исследование их поведения в системе Ga-As Cl₃-H₂ |
210 | # | # | $a М. $d 1972 |
215 | # | # | $a 56 с. |
225 | 2 | # | $a Препринт $f АН СССР. Ин-т радиотехники и электроники $v № 100 |
300 | # | # | $a Список лит.: с 53-56 (48 назв.). Перед загл.: Л. В. Буркова, Т. М. Груздева, В. Ф. Дворянкин и др. |
345 | # | # | $9 180 экз. |
675 | # | # | $a 537.311.33 |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20071112 $g psbo |