|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr22673370000 |
| 005 |
20180123095345.0 |
| 010 |
# |
# |
$d Беспл.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [91-57616]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071112d1991 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Материалы для микроэлектроники и приборостроения
$e Тез. докл. межотрасл. науч.-техн. конф., 26 нояб. 1991 г.
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1991
|
| 215 |
# |
# |
$a 18 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a В надзаг.: НПО "ВИАМ"
|
| 345 |
# |
# |
$9 170 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектроника - Материалы
|
| 610 |
0 |
# |
$a Приборостроение - Материалы
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002.3+681.2.002.3](063)
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071112
$g psbo
|
