Ионная имплантация: [Сб. ст.] / Под ред. Дж. К. Хирвонена; Пер. с англ. И. Я. Бокшицкого и др.; Под ред. О. П. Елютина

Сохранено в:
Шифр документа: 40051,
Вид документа: Книги
Опубликовано: М. : Металлургия , 1985
Физические характеристики: 391 с. : ил. ; 22 см
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr21814460000
005 20141114132150.0
010 # # $b В пер.  $d 4 р. 80 к. 
021 # # $a RU  $b [85-41152] 
100 # # $a 20071005d1985 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Ионная имплантация  $e [Сб. ст.]  $f Под ред. Дж. К. Хирвонена; Пер. с англ. И. Я. Бокшицкого и др.; Под ред. О. П. Елютина 
210 # # $a М.  $c Металлургия  $d 1985 
215 # # $a 391 с.  $c ил.  $d 22 см 
300 # # $a Перевод изд.: Ion implantation (New York etc., 1980) 
320 # # $a Библиогр. в конце ст. 
345 # # $9 2000 экз. 
610 0 # $a Металлы - Легирование ионное - Сборники 
675 # # $a 669.046.516.2-982:537.534 
702 # 1 $a Хирвонен  $b Дж. К.  $4 340 
702 # 1 $a Елютин  $b О. П.  $4 340 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071005  $g psbo