|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr20485490000 |
| 005 |
20210602111103.0 |
| 010 |
# |
# |
$b В пер.
$d 1 р. 47 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [77-3970]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070918d1977 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Введение в фотолитографию
$f [Ю. С. Боков, В. С. Корсаков, В. П. Лаврищев и др.]
$g Под ред. В. П. Лаврищева
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Энергия
$d 1977
|
| 215 |
# |
# |
$a 400 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Список лит.: с. 379-397
|
| 345 |
# |
# |
$9 8000 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Фотолитография
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводниковые приборы - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 655.226.251+621.382.049.77.002
|
| 701 |
# |
1 |
$a Боков
$b Ю. С.
$g Юрий Сергеевич
|
| 702 |
# |
1 |
$a Лаврищев
$b В. П.
$g Вадим Петрович
$4 340
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070918
$g psbo
|
