Альбом зарубежного специального технологического оборудования для производства изделий микроэлектроники на основе тонкопленочной технологии / [Сост. Б. П. Кузнецов, В. П. Игнатенко, Т. В. Колчугина]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | [Б. м.] , 1979 |
| Физические характеристики: |
104 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr20118190000 | ||
| 005 | 20070924131305.0 | ||
| 010 | # | # | $d Б. ц. |
| 021 | # | # | $a RU $b [79-60367] |
| 100 | # | # | $a 20070924d1979 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Альбом зарубежного специального технологического оборудования для производства изделий микроэлектроники на основе тонкопленочной технологии $f [Сост. Б. П. Кузнецов, В. П. Игнатенко, Т. В. Колчугина] |
| 210 | # | # | $a [Б. м.] $d 1979 |
| 215 | # | # | $a 104 с. $c ил. |
| 345 | # | # | $9 104 экз. |
| 675 | # | # | $a 621.382.049.772.1.002(-87) |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070924 $g psbo |