|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr19966150000 |
| 005 |
20170201175326.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 5-06-000731-6
$b в пер.
$d 1 р. 60 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [91-38253]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070924d1991 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники
$e [Учеб. пособие для приборостроит. спец. вузов
$f А. А. Сазонов и др.]
$g Под ред. А. А. Сазонова
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Высш. шк.
$d 1991
|
| 215 |
# |
# |
$a 333, [1] с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 332 (12 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 11000 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Автоматизация - Учебники и пособия
|
| 610 |
0 |
# |
$a Автоматизация - Микроэлектронные схемы интегральные - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002:658.012.011.56(075.8)
|
| 686 |
# |
# |
$a 32.844-06
$2 rubbk
|
| 701 |
# |
1 |
$a Сазонов
$b А. А.
$g Александр Афанасьевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070924
$g psbo
|
