Исследование и разработка интегральных преобразователей влажности для контроля технологических сред микроэлектропики: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Моск. ин-т электр. техники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ярышевский, М. А. |
| Опубликовано: | М. , 1991 |
| Физические характеристики: |
23 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||