Химические свойства и применение фоторезистов: Конспект лекций
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Юрре, Т. А. |
| Опубликовано: | Л. : ЛТИ , 1981 |
| Физические характеристики: |
65 с. : ил. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
| 00000cam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr19675160000 | ||
| 005 | 20120803115252.0 | ||
| 010 | # | # | $d 21 к. |
| 021 | # | # | $a RU $b [81-76733] |
| 100 | # | # | $a 20070518d1981 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Химические свойства и применение фоторезистов $e Конспект лекций |
| 210 | # | # | $a Л. $c ЛТИ $d 1981 |
| 215 | # | # | $a 65 с. $c ил. $d 20 см |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Ленингр. технол. ин-т им. Ленсовета. Библиогр.: с. 64 |
| 345 | # | # | $9 500 экз. |
| 610 | 0 | # | $a Фотолитография |
| 675 | # | # | $a 655.226.251.1(075.8) |
| 700 | # | 1 | $a Юрре $b Т. А. $g Татьяна Андреевна |
| 701 | # | 1 | $a Ельцов $b А. В. $g Андрей Васильевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070518 $g psbo |